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无机氧化硅可控制备研究中心
以氧化硅、氧化铈为代表的纳米氧化物颗粒由于其优良的结构、光电、化学等性能，在半导体、生物医药、石油化工、光催化等领域都具有广泛的应用前景。目前国际上高端纳米氧化物材料的市场主要被美、德、日等国家垄断。甬江实验室无机氧化硅可控制备研究中心围绕电子材料和生物医药材料领域，开展微纳尺度氧化硅材料可控制备技术的基础理论研究、流程设计、关键设备制造，致力于在电子封装材料、5G填充材料、药物纯化、缓释等领域实现应用。
目前，中心聚焦用于芯片化学机械抛光的氧化硅磨料研发，重点研究纳米氧化硅颗粒结构对抛光效果的影响，解决纳米氧化硅结构调控及规模化制备的技术瓶颈。中心的研究将突破日本Fuso在该材料95%市占率的垄断，中心所开发的样品已送至国内多家半导体厂商展开验证并获得一致认可。今年中心将完成纳米氧化硅颗粒的中试放大工艺研究，并计划与万华、江丰等产业头部企业在宁波合作成立产业化公司，实现应用落地。
材料科学,生物医用 500万以上
化学化工
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